质量流量测量仪用于在工艺技术领域直接测量气体通过量。在体积流量测量仪中，还需要测量温度和压力或密度，因为气体的密度或体积会因压力的不同而发生变化。与之相反，质量流量的测量并不受压力和温度影响。8701 型数字式质量流量测量仪具有一个以硅芯片为基础的传感器（参见第 2 页的描述），该传感器直接处于旁路管道中。通过这种方式可以达到一个非常短的设备反应时间。当前流量会被作为模拟的标准信号输出或者通过 RS 通讯输出。可针对两种不同的气体对型号 8701 进行校准，用户可在两者之间进行转换。根据用户要求的不同，在选择与介质相接触的接头的材料时应确保，可利用所有的普通工艺气体运行设备。典型用途是，在检验机构、环境技术、医疗技术、分析结束中测量气体流量。
采用半导体技术的直接流量测量装置，适合额定流量范围 20 mlN/min 至 80 lN/min
高精度
反应快速
可选的现场总线