8713 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现极高速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具备卓越的控制特性。8713 型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。与上级设备的通信完全采用数字形式，这样一来，就可以省去额外的数模转换。8713 型质量流量控制器适合多样化应用，例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。
标称流量范围：0.010 lN/min 至 80 lN/min
测量精度和重复性高
调控速度特别快
通过 RS485 进行数字通信
紧凑型版本

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